直流四探針電阻測試儀
產(chǎn)品概述
直流四探針電阻測試儀探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO 膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配專用探頭, 也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
直流四探針電阻測試儀儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
1. 材料尺寸(由選配測試臺(tái)和測試方式?jīng)Q定)
直 徑:圓測試臺(tái)直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
方測試臺(tái)直接測試方式 180mm×180mm,手持方式不限. 長(高)度: 測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
BEST-300C 測試儀能夠測量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R 口
以及體電阻 R,測量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。
本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數(shù)設(shè)定, 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定,極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式,方便了用戶同時(shí)測試多個(gè)參數(shù),提高測試效率。整機(jī)測量最大相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測試;范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;正反向電流源修正測量電阻誤差恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件,即先讓探針頭壓觸在被測材料上,后開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測量并無影響時(shí),恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)??膳浜隙喾N探頭進(jìn)行測試;也可配合多種測試臺(tái)進(jìn)行測試。校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測測試模式,測量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對(duì)被測件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。測試模式:可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測試數(shù)據(jù)軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數(shù)據(jù);可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分
在設(shè)定模式下(設(shè)定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測量類別(電阻率ρ、方塊電阻
(薄片電阻率)R 口或體電阻 R 中三選一,切換儀器到“測量"模式,窗口左側(cè)“測量" 模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸,電壓測試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值。
注意!測量狀態(tài)中,電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式,也可調(diào)整為手動(dòng)方式,手動(dòng)方式下, 電流量程適合的,儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示,對(duì)于超量程,說明電流過大,要調(diào)到較小電流檔;對(duì)于欠量程,說明電流過小, 要調(diào)到較大電流檔。
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